国内6个重点大硅片项目最新进展盘点

受保险单支持和市场需求驱动力。,多家集会在奇纳河确实的规划半导体大硅片项目。表示保留或保存时用2018年10月,亚洲翻阅公司审察了这6个线索项目的举行限制和特效药。。

杭州中芯晶圆大上涂料硅片项目

10月8日早上,总投资额达10亿财富的杭州中芯晶圆大上涂料硅片项目正式成功提供体系封顶任务。接下来,厂子将立刻进入装修。、电气机械健壮的增加破土阶段,民用建筑给人以希望的在年内吃光。,并于2019年4月入伙敷用。。

杭州SMIC晶圆半导体股份股份有限公司,日本 Holdings、杭州大和热工电子股份有限公司、上海沈鹤热电子股份有限公司确立或使安全合资集会。,坐落于杭州东部,注册资本29亿元。,建坪超越10000平方米,创作室面积约15万平方米。。

该项目计划修建3渐进(200毫米水银柱高)、2 12渐进(300mm)半导体硅片一贯作业虚构系统,缠住这些都将被解除。,将成功8渐进年产540万片、12渐进年产288万片半导体硅片的效能。达到结尾的后,8渐进硅片一贯作业虚构系统将是奇纳河最大的、最使苍老的一贯作业虚构系统,12渐进硅片一贯作业虚构系统将适宜第东西虚构L。

金瑞泓120万片每年8渐进内涵片项目

金瑞泓科学技术(衢州)股份有限公司投资额70418万元,在衢州绿色产业集聚区,新增基础约100亩。,新建创作室及交往配件。项目分阶段履行,一期履行60万片/年内涵片一贯作业虚构系统,生料追求硅片,非私利虚构;二相60万胶片/年延伸一贯作业虚构系统,适当人选追求晶圆(包含东西相)是自产的。,适当人选为重磷掺杂直拉硅单晶。

次要配件:5伸长炉、晶圆洗涤机1套、1套箱式洗涤器、洗钟机1台、30单晶炉、5台洗涤器。、2台切削机、2辊机、线讽刺的7套、节洗涤器1台、切面机5台、2磨床、圆盘洗涤机1台、卖弄笔墨蚀机1、1种喷砂法机、喷砂法整理机1套、3热工序炉、SiO2边界附近的剥离器1套、自动地洗涤机1台、边界附近的追求机1台、2追求机、一台洗涤机1台。、1套箱式洗涤器、终极洗涤机1等。。

项目优势:

1。咱们找到了单晶炉T的无疵设计学说。,认识了8渐进低COP和无COP的无疵水晶般的成长技术。。本项目适当人选为重磷掺杂直拉硅单晶。

2。认识高平8渐进晶圆追求技术。、Gao Jie正派的硅凿洗涤技术及缺陷工程,硅凿的几何学著作限制因素和外表颗粒说明者,次要转位:SFQR<,TTV<。

三。主8渐进大直径硅片内涵技术,大直径硅片引起高厚度、高电阻系数平等性必需品与热应力把持。认识了电阻系数决不Ωcm的8渐进重掺硼衬底无失配(misfit)内涵技术,该技术具有伤痕指挥的技术程度。。

4。硅延一贯作业虚构系统出口意大利出口一贯作业虚构系统。,在国际上属于上进程度。,并配备氢污染。、硅源体温把持、穿透气处置、附带配件如高纯毒气保送。。

5。侦探、剖析敬意,配备上进的汞探头检测器、红外检测器、无缩减老化试验机、四声调检测器、硅外表粒子扫描器等。。

6。织物经过封闭系统保送。,主要出示把持。

上海新昇12渐进硅片项目

上海新昇半导体科学技术股份有限公司12渐进大硅片项目坐落于浦东机场新区临港重配备园区,项目第一期入伙18亿元。,设计充其量的为15万片/月的12渐进硅片,估计每年的电子级多水晶般的硅敷用量为450吨,它先前入伙敷用。。

项目优势:

1.本项目所敷用的技术均出生于上海新昇剥削的技术于是引进联结线索核心技术,在虚构配件和机具的选择中,有HI的配件,缩小能耗。

2。上海将设置全部时间得出所预测的结果与开发机关。,前、后段的产业技术使分裂为:、配件、优点管理和出示漂亮的率致力得出所预测的结果和剥削任务。

三。上海精神焕发已与朝鲜的S和U的K终了拟定草案。,三方发生得出所预测的结果与开发合作。,联合剥削和改良我公司的杂多的晶型提拉炉。同时上海新昇的得出所预测的结果与开发合作还将对“回火炉和外表处置炉”等线索技术和配件持续得出所预测的结果与开发。

眼前,该项目已入伙运转。,出示先前过华利微电子认同。,SMIC等集会的认同任务仍在举行中。。

西安易思威硅产业基地项目

西安奕斯伟硅片技术股份有限公司确立或使安全于2018年2月,是奕斯伟科学技术股份有限公司(ESWIN)在西安确立或使安全的硅织物创造公司。项目投资额30亿元。,坐落于长安交通产业区。,设计每渐进5万片生产率12渐进的硅片。估计从开端到手术21个月。,2020年6月入伙敷用。

项目优势:

1。在晶拉敬意,采取粹晶拉炉,配备32渐进体温场,负荷超导磁场把持熔体对流,单位错硅棒的无位错直线折旧法。

2。硅片工序技术采取最上进的节追平比分的得分,确保硅片讽刺的优点,德国追求配件的设定,确保硅片外表几何学著作估计契合ADVAN的必需品。

三。洗涤配件选模标本。,最好的日本洗涤配件将被选中。,最上进的洁净间设计、供电与虚构把持,硅片上残留颗粒的去除。

4。内涵产业技术,美国粹发展配件,该健壮的能有法律效力地缩减内涵Gr切中要害原子打滑。,确保内涵膜的优点。

郑州合晶硅片项目

郑州合晶硅织物股份有限公司确立或使安全于2017年2月,是由台湾合晶科学技术集团支流的上海合晶硅织物股份有限公司和上海晶盟硅织物股份有限公司协同有助的组织,投资额12亿元在郑州机场有经济效益的概括试验区开发年产240万片200mm硅单晶追求片虚构项目。台湾晶晶科学技术集团是全球第七硅片供给者,它也伤痕三强低阻硅凿供给者。,它先前在半导体硅专业任务超越20年。。

该项目针对虚构200mm的光掺杂硅单晶。、轻磷掺杂120万片/年;200mm重掺杂硅单晶追求片(重硼DO)、磷掺合料、重砷、重锑120万片/年,每年耗费约300万吨电子级多水晶般的硅。

项目优势:

1。采取上进的提拉技术。,长水晶般的稳固情况,具有平等电阻系数和平等分布的高优点单晶。

2。上进气体避难所直拉技术的敷用,就是,在水晶般的成长室中联结惰性毒气。,压力大于熔体的腐烂压力。,管理熔体中挥发性合成的的挥发消融。。

三。正派的电子级多水晶般的硅生料外表。,从源头缩减致污物的发生。

4。采取上进的切牌。、磨、抛撒包装技术,确保出示优点和漂亮的的性能转位。。

5。项目切中要害长颈鹿、种盆栽、领导升热器、钢线切削机/钢线、磨床及交往组成的选自外用的上进受人利用的人。

6。敷用能量守恒配件缩小能耗。,并采取自动地把持技术。,提出了虚构自动地化程度。。

安徽易芯年产160万片12渐进半导体硅片项目

安徽易芯半导体公司年产160万片12渐进半导体硅片项目,地理位置坐落于合肥新站区嘉海产业区。,项目第一期总投资额8900万元,t,电子级多水晶般的硅吨年耗费量。

项目优势:

1.本项目所敷用的技术均出生于安徽易芯剥削的技术于是引进联结线索核心技术,在虚构配件和机具的选择中,有HI的配件,缩小能耗。

2。单晶硅棒虚构切中要害适当人选,修整外形剂有母劣等金属(次要是硅)。,达到正派的虚构的必需品。

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